과학기술부와 한국산업기술진흥협회는 ‘이달의 엔지니어상’ 1월 수상자로 대기업 부문에 윤성로 연구위원, 중소기업 부문에 김형석 과장을 각각 선정했다고 7일 밝혔다.
대기업 부문 수상자로 선정된 윤성로 연구위원은 국내 최초로 고기능성 산업용 역삼투 분리막, 반도체 및 전기.전자기기용 정밀여과막을 개발한 공로를 인정받아 이번에 수상자로 선정됐다.
중소기업 부문 수상자인 김형석 과장은 8년간 반도체 전(前)공정 장비개발에 전념해온 전문엔지니어로 세계 최초로 반도체 ZrO2공정 장비 양산화에 성공한 공로를 인정받아 이달의 엔지니어상 1월 수상자로 선정되었다.
김 과장은 60나노 이하의 차세대 반도체 공정 중 ZrO2의 저온증착을 통해 균일한 박막을 형성하는 공정기술의 개발 및 장비 양산화에 성공했다.
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